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新材料 電子特氣系統(tǒng)

  工信部網(wǎng)站于2018年9月29日發(fā)布了關(guān)于《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2018版)》的公告。相較于2017版高純氯氣、三氯氫硅和鍺烷三種電子特氣,本次指導(dǎo)目錄(2018版)達(dá)15種之多,也是本次發(fā)布數(shù)量最多的一個(gè)品類。

  電子特氣的重要性

  有人把電子特氣比喻成電子工業(yè)的糧食,也有人把它比喻成集成電路的腦細(xì)胞,這都說明了電子特氣對(duì)于電子工業(yè)的重要性。

  新材料電子特氣系統(tǒng)是什么

  電子特氣系統(tǒng)工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、自動(dòng)切換(自動(dòng)切換氣瓶)、監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)幾部分

  新材料電子特氣系統(tǒng)特點(diǎn)

  單臺(tái)電子特氣系統(tǒng)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警,并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;多臺(tái)設(shè)備用PLC或TGO連起來,監(jiān)控報(bào)警系統(tǒng)可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對(duì)接。

  深圳蓋斯帕克長(zhǎng)期致力于電子特氣系統(tǒng)工程的服務(wù),公司自有經(jīng)驗(yàn)豐富的、專業(yè)的安裝工程服務(wù)團(tuán)隊(duì)與專業(yè)的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì),成功開發(fā)設(shè)計(jì)有自主專利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統(tǒng)GMS,已成功安裝于諸多高等院??蒲惺遗c半導(dǎo)體企業(yè),且目前運(yùn)行良好。