高純氣體氣瓶架(GR)

　　GR(Gas Rack)是為了滿足微電子半導體生產(chǎn)、科研要求而設(shè)計的氣體輸送中轉(zhuǎn)系統(tǒng)。GR一般由架子、閥門盤面、管件、控制器等集中在一起組成。

　　GR多用于普通氣體或惰性氣體的供應，是氣源部分。

　　蓋斯帕克高純氣瓶架GR包括：

　　1、根據(jù)客戶情況的特殊設(shè)計，以下安全裝備可能將集成于GR

　?、貵R有帶按鍵操作的控制柜體，放置于架體上部

　　②可以泄露偵測。

　　③與系統(tǒng)抽風排空系統(tǒng)連接。

　　④自吹掃系統(tǒng)。

　?、輭毫蓽y。

　　2、安裝環(huán)境：

　　①一般在惰性氣體氣瓶架，方便人員操作，懸掛于墻面。

　　②控制柜柜門開關(guān)自如，不得扭曲變形，關(guān)閉不嚴。

　?、郾仨氂蓪I(yè)的安裝人員進行安裝。

　　3、系統(tǒng)構(gòu)造：GR是由氣瓶架和供氣面板組成

　?、俟耋w的組成：

　　不銹鋼烤漆耐腐蝕架體

　?、贕as Manifold 氣體面板(根據(jù)實際需求可能有增減)：

　　蓋斯帕克的設(shè)計目標是要開發(fā)一條可以符合客戶性能，純度，易用度，易維護度以及系統(tǒng)集成度需求的最優(yōu)級產(chǎn)品線。初看GR就可以發(fā)現(xiàn)許多已經(jīng)實現(xiàn)了的設(shè)計目標。GR設(shè)計簡潔，每樣東西都能很方便的找到和操作。許多部件都組織在一起，以方便維護。無需開門，就可以看見和操作面板。蓋斯帕克所實現(xiàn)的，就是一個易于理解、易于使用、并且易于維護。