大宗特氣柜-處理大量特氣的設(shè)備
大宗特氣柜(BSGS)
半導(dǎo)體、芯片、新材料以及科研院等生產(chǎn)車間或?qū)嶒?yàn)室經(jīng)常會使用到電子氣體,這些電子氣體通常分為兩類,一類為普通電子氣體(普氣),另一類為特種電子氣體(特氣),普氣大多為惰性氣體,較為穩(wěn)定無危害性或危害性較小。特種氣體分為腐蝕性氣體和易燃易爆氣體,其穩(wěn)定性較差,危害性大。
因特氣的特殊性質(zhì),當(dāng)實(shí)驗(yàn)室或車間需要使用大量的特氣時(shí),則需要使用大宗特氣柜(BSGS)來裝載和輸送。
特氣柜必備的功能:
a,自動切換供氣配置;
b,全自動觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空,自動緊急遠(yuǎn)程切斷、事故報(bào)警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏, 泄漏報(bào)警對接,通風(fēng)出口等);
c,符合國際安全規(guī)范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關(guān)閉門、抽風(fēng)外殼;
d,單工藝出口;
e,配置前端0.1μ過濾器,后端0.001μ終端過濾器;
f,高壓測漏測試;
g,帶自清潔功能;
h,帶欠壓報(bào)警功能;
j,防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆;
k,視窗為夾層不銹鋼網(wǎng)防爆玻璃;
l,排風(fēng)口及閥門;
m,常開/常閉標(biāo)示掛牌;
n,防爆電控箱;
o,配置 UV/IR,噴淋頭,高溫,煙感應(yīng);
蓋斯帕克通過大量研究,組件測試,概念發(fā)展以及客戶的意見都參與到氣體輸送產(chǎn)品的氣柜設(shè)計(jì)開發(fā)之中。最終設(shè)計(jì)出專利型產(chǎn)品蓋斯帕克Hisptech型大宗特氣柜(BSGS)在業(yè)內(nèi)廣受好評。