大宗氣體：

　　集成電路芯片廠中所使用的氣體按用量大小可以分為二種：用量大的稱為大宗氣體(Bulk gas)，用量較小的稱為特種氣體(Specialty gas)。

　　大宗氣體通常有：氮?dú)?、氧氣、氫氣、氬氣、氦氣等，其中最常見常用的為氮?dú)狻?/p>

　　大宗氣體工程即集中供氣系統(tǒng)工程，分為氣源部分，輸送管道部分，終端配置設(shè)備部分。

      集中供氣系統(tǒng)工程組成

　　氣源部分：儲(chǔ)氣裝置有GC/GR，混流排、單瓶或雙瓶多瓶面板等，根據(jù)氣體的不同性質(zhì)來選擇，如腐蝕有毒易燃易爆特氣則用GC，普通惰性氣體用GR。

　　管路部分：不同性質(zhì)氣體用不同材質(zhì)，如特氣為雙套管，用EP級(jí)不銹鋼管作內(nèi)管，外管為BA級(jí)不銹鋼管，普氣則選用BA級(jí)不銹鋼管。

　　終端部分：VMB/VMP、單面板。根據(jù)不同氣體性質(zhì)選擇，如特氣選用VMB，普氣選用VMP。

　　大宗氣體工程設(shè)計(jì)施工要求：

　　1.管件的選擇，業(yè)內(nèi)多數(shù)使用SUS316不銹鋼材質(zhì)管，而該類管的拋光等級(jí)上卻有不同，然而不同的氣體對(duì)管件有著不同的要求，易燃易爆及毒腐氣體對(duì)管件要求比較高，普通電子氣體的要求則相對(duì)較低。

　　2.閥門組件選擇，不同的閥門有著不同的密封性，其制作工藝上也有很大的區(qū)別。對(duì)于危險(xiǎn)性氣體要選用密封線較高的閥門。

　　3.減壓設(shè)備選擇，減壓設(shè)備要嚴(yán)格根據(jù)氣體輸送壓力來選擇，減壓范圍要合理，使其壓力變更更加精確。

　　4.氣路泄漏偵測(cè)是整個(gè)工程必不可缺少的部分，部分危險(xiǎn)氣體泄漏后危險(xiǎn)性極大，所以在安全方面必須有著極為嚴(yán)格的要求!

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