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半導(dǎo)體/芯片 電子特氣系統(tǒng)

  半導(dǎo)體芯片電子特氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體芯片行業(yè)安全生產(chǎn)不可缺少的一部分,這個行業(yè)對氣體純度要求較高,選用供氣系統(tǒng)配置相比其它行業(yè)要更加的高端。

  什么是電子特氣

  易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的氣體統(tǒng)稱為電子特氣。電子特氣系統(tǒng)工程是用于保證電子特氣的安全使用的系統(tǒng)。

  電子特氣系統(tǒng)組成

  電子特氣系統(tǒng)工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)二次配部分(氣體分配柜VMB)、監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)幾部分。

  電子特氣系統(tǒng)特點(diǎn)

  單臺電子特氣系統(tǒng)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報警,并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報警;多臺設(shè)備用PLC或TGO連起來,監(jiān)控報警系統(tǒng)可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對接。完善、安全、專業(yè)是我們的特點(diǎn)。

  適合場合:半導(dǎo)體行業(yè)、微電子企業(yè)、光伏太陽能、濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等。

  深圳蓋斯帕克長期致力于電子特氣系統(tǒng)工程的服務(wù),公司自有經(jīng)驗豐富的、專業(yè)的安裝工程服務(wù)團(tuán)隊與專業(yè)的設(shè)計團(tuán)隊,成功開發(fā)設(shè)計有自主專利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統(tǒng)GMS,已成功安裝于諸多高等院??蒲惺遗c半導(dǎo)體企業(yè),且目前運(yùn)行良好。