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特種氣體工藝系統(tǒng)組成及要求
2019-02-25
特種氣體工藝系統(tǒng)一般性要求
特種氣體工藝系統(tǒng)是用來(lái)處理特殊氣體的一個(gè)系統(tǒng),這里主要介紹下工藝氣體系統(tǒng)及特種氣體工藝系統(tǒng)的組成及以下設(shè)計(jì)方面的要求。
工藝氣體系統(tǒng)簡(jiǎn)介
我們知道一般工藝氣體都是儲(chǔ)存在鋼瓶中,在集中供氣系統(tǒng)中一般要有專用裝置儲(chǔ)存鋼瓶,在過(guò)去十多年中,蓋斯帕克沒(méi)有發(fā)明集中供氣之前,特種氣體供應(yīng)沒(méi)有形成有效的系統(tǒng),鋼瓶凌亂,管理混亂,不相容氣體混放等問(wèn)題非常嚴(yán)重,極大的影響到用氣安全。
特種氣體工藝系統(tǒng)組成
1、儲(chǔ)存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格。
2、氣體分配用閥門箱、閥門盤。
3、輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)。
4、尾氣處理裝置。
特種氣體工藝系統(tǒng)要求
1、特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)特氣工藝的參數(shù)、污染控制、使用安全的要求。
2、不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng)。
3、不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。