淺談特種氣體設(shè)備的布置方式

　　特種設(shè)備簡介

　　隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，特氣設(shè)備越來越多的應(yīng)用于IC芯片生產(chǎn)、鍍層、實(shí)驗(yàn)室科研等項(xiàng)目中。很多用戶在進(jìn)行特氣設(shè)備的規(guī)劃時(shí)候，受限于氣房空間、位置、需求等多方面要求而不能合理規(guī)劃布局，遇到了很多問題，為日后的產(chǎn)品使用增加了風(fēng)險(xiǎn)和擴(kuò)充難度。本文就絕大多數(shù)用戶遇到的難題，結(jié)合規(guī)范做以較為標(biāo)準(zhǔn)化的布置建議。

　　特氣關(guān)鍵詞：

　　特氣設(shè)備;布置;多設(shè)備規(guī)劃。

　　特氣設(shè)備主要包括

　　1、GC 特氣氣瓶柜

　　2、GR 大宗or普通氣瓶架

　　3、Local Scrubber 本地式廢氣處理柜(電加熱+水洗復(fù)合型 可定制單功能)

　　4、VMB、VMP等各類氣體分配設(shè)備

　　蓋斯帕克氣體研究院從多年的特氣項(xiàng)目施工和管理經(jīng)驗(yàn)中，結(jié)合GB-50646-2011總結(jié)出以下特氣設(shè)備的布置要素供用戶參考：

　　特種氣體設(shè)備的布置方式

　　1、不相容GR應(yīng)布置在不同房間里，當(dāng)由于條件所限布置在同一房間時(shí)，GR之間的距離應(yīng)大于6M。

　　2、同時(shí)具有可燃性和毒性的氣體設(shè)備應(yīng)該放置在可燃性氣體間。

　　3、GR、GC、Scrubber等設(shè)備宜靠墻布置，具有相同性質(zhì)的設(shè)備應(yīng)該布置在一起。

　　4、特種氣體房間內(nèi)的中間通道寬度不得小于2M。

　　5、GC與墻體之間的距離宜大于0.1M，GC之間距離宜大于0.1M。

　　6、各類設(shè)備布置應(yīng)該預(yù)留維修和運(yùn)轉(zhuǎn)空間。

　　7、長管拖車、ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組等大型設(shè)備宜放置在室外空曠平地。