特種氣體站房應(yīng)該如何分類?

　　特種氣體在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用比較多，一些用氣量大的工廠需要建立特種氣體站房，特種氣體在分類和設(shè)計上需要注意很多問題。本文主要講特氣站房的分類。

　　特氣體行業(yè)應(yīng)用現(xiàn)狀

　　目前，在國內(nèi)外大環(huán)境形勢下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)如火如荼的發(fā)展。一方面，受美國等發(fā)達國家制裁，國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)遭遇了產(chǎn)品供應(yīng)的難題，另一方面，國家大力扶持發(fā)展國有芯片和技術(shù)，很多新建廠房在大陸開花結(jié)果，星火燎原。那么建廠初期如何進行氣站的分類，一方面要結(jié)合現(xiàn)實情況，一方面要符合國標規(guī)定。

　　特種氣體設(shè)計要求

　　特種氣體應(yīng)根據(jù)其物理化學(xué)性能及安全特性進行分類和工程設(shè)計。

　　特氣站房分類

　　蓋斯帕克氣體設(shè)計研究院在十一年的特氣設(shè)計案例中，結(jié)合GB-50646-2011規(guī)范總結(jié)出特氣站房的分類：

　　特種氣體站房分類規(guī)定

　　1、可燃性特種氣體間應(yīng)為甲類;

　　2、毒性氣體間、腐蝕性氣體間、氧化性氣體間應(yīng)為乙類;

　　3、惰性氣體間應(yīng)為戊類;

　　4、生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間、腐蝕性氣體間、惰性、氧化性氣體間等。

　　5、硅烷、氨氣等大宗特種氣體的設(shè)備應(yīng)布置在獨立的特種氣體站內(nèi)。