特氣系統(tǒng)和高純氣體系統(tǒng)應(yīng)用

　　特氣系統(tǒng)和高純氣體系統(tǒng)都是用來輸送氣體的。將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點。

　　其基本流程是：氣源→管道→VMB→管道→用氣點

　　特氣系統(tǒng)主要用于特氣輸送

　　特氣柜主要用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，特氣柜有一個外殼上有抽風(fēng)管，當(dāng)發(fā)生小泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免擴散產(chǎn)生更大危險。

　　特氣系統(tǒng)的主要部分

　　1、GC特氣柜。

　　2、氣體分配用閥門箱。

　　3、輔助氮氣吹掃系統(tǒng)。

　　4、尾氣處理裝置。

　　高純氣體系統(tǒng)應(yīng)用

　　高純氣體系統(tǒng)主要用于輸送純度要求比較高但是危險性較低的氣體

　　高純氣體的主要部分

　　1、GR氣瓶架。

　　2、氣體分配用閥門分配盤（VMP）。

　　當(dāng)然一般特殊氣體要求也是高純的，所以特氣系統(tǒng)也可以用來輸送高純氣體，不過價格比較高。高純氣體系統(tǒng)不能用來輸送特氣，風(fēng)險太大了。