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　　名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

　　規(guī)格：一進16出

　　型號：HSPVMB130616

　　■ 特氣柜尺寸：W550寬×D500深×H600高

　　■ VENT排空管：1/2MVCR接口

　　■ 工藝氣體：1進N出(N=2~16)

　　■ 盤面規(guī)格：1/4"盤面

　　■ 標(biāo)準(zhǔn)配備：防爆防腐柜體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警，主材SS316L

　　■ 箱體換氣量: 4"排氣口，SiH4-1200次/小時，其余300次/小時

　　■ 選配：外吹掃，抽真空，全自動控制，工藝氣體超壓報警，遠程切斷，盤面加熱及溫控裝置，泄漏報警，報警信號手機短信與電話通知

　　適用范圍：應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設(shè)備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導(dǎo)體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。