400-900-9093
產(chǎn)品名稱:
閥門分配箱
產(chǎn)品型號:
HSPVMB130602
產(chǎn)品特點:
...
400-900-9093
sales@szgp.com.cn
深圳寶安松白路 創(chuàng)維數(shù)字大廈12樓
產(chǎn)品描述:
名稱:閥門分配箱(Valves Manifold Box)
規(guī)格:一進多出
型號:HSPVMB130602
■ 特氣柜尺寸:W550寬×D500深×H600高
■ VENT排空管:1/2MVCR接口
■ 工藝氣體:1進N出(N=2~9)
■ 盤面規(guī)格:1/4"盤面
■ 標準配備:防爆防腐柜體,防爆自鎖門,防爆玻璃觀察窗,泄漏報警,主材SS316L
■ 箱體換氣量:4"排氣口,SiH4-1200次/小時,其余300次/小時
■ 選配:外吹掃,抽真空,全自動控制,工藝氣體超壓報警,遠程切斷,盤面加熱及溫控裝置,泄漏報警,報警信號手機短信與電話通知
■ 適用范圍:應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。
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