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特種氣體的類型及其儲(chǔ)存和使用
2019-08-14
特種氣體在實(shí)驗(yàn)和工業(yè)生產(chǎn)中比較常見(jiàn),那么特種氣體常見(jiàn)的種類有哪些,特種氣體儲(chǔ)存在哪里,特種氣體使用過(guò)程是怎么的?
特種氣體種類
特種氣體主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6等。其中大多數(shù)是腐蝕性、有毒和可燃?xì)怏w。
特種氣體儲(chǔ)存和使用過(guò)程
1.對(duì)于腐蝕性、有毒和可燃?xì)怏w,鋼瓶通常被設(shè)計(jì)成放置在特殊的氣體柜中(特氣柜)。
2.然后,特種氣體通過(guò)管道供應(yīng)到現(xiàn)場(chǎng)附近的閥門(mén)箱(VMB)。
3.然后進(jìn)入制程機(jī)的POU使用點(diǎn)。
4.在進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前,有獨(dú)立的氣體控制面板(GB,Gas Box)將連接到過(guò)程控制模塊,以控制進(jìn)氣的流量控制和進(jìn)氣混合比例。
5.通常,這種氣體控制面板不屬于工廠管理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇,而是屬于加工機(jī)械設(shè)備的一部分。普通惰性氣體由開(kāi)放式氣體架和閥門(mén)歧管板提供。