硅烷全自動特氣柜

　　硅烷越來越廣泛地應(yīng)用于高科技行業(yè)。由于硅烷是非常危險的氣體，所以硅烷特氣柜是必不可少的，硅烷全自動特氣柜有什么作用?硅烷特氣柜的設(shè)計要求是什么?

　　硅烷功能及用途

　　1.一系列含硅物質(zhì)如單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅和氧化硅可以由硅烷制備。

　　2.使用硅烷可以實現(xiàn)高純度、精細控制(原子級)和靈活多變的化學(xué)反應(yīng)。從而使各種含硅材料可以根據(jù)不同的要求制成復(fù)雜精細的結(jié)構(gòu)，這是具有各種特定功能的現(xiàn)代材料和器件所需要的基本條件。

　　硅烷全自動特氣柜的功能

　　硅烷特氣柜主要用于硅烷這類易燃爆特殊氣體供應(yīng)而設(shè)計出來的一種供氣系統(tǒng)。能夠?qū)崿F(xiàn)全自動切換供氣，配合氣體泄漏探測器、火焰探測器等組成一套系統(tǒng)。

　　硅烷特氣柜及系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范

　　1.硅烷由于其極度危險，整個系統(tǒng)應(yīng)配備獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃，不允許管道氮氣吹掃。

　　2、應(yīng)配備惰性吹掃裝置、氣體泄漏探測器、火焰探測器等。;

　　3.硅烷系統(tǒng)的排氣管不得連接至排氣系統(tǒng);

　　4.排氣管應(yīng)連續(xù)用惰性氣體吹掃，吹掃氣體的流速不應(yīng)小于0.3m/s

　　5.當(dāng)廢氣濃度硅烷相對較高時，廢氣應(yīng)通過燃燒型廢氣處理裝置進行處理，然后排放到大氣中。