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高純氣路系統(tǒng)應(yīng)用及管道要求
2019-07-09
實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)應(yīng)用
氣路系統(tǒng)主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設(shè)備，是方便于實(shí)驗(yàn)室供氣及安全的氣路系統(tǒng)。主要用于實(shí)驗(yàn)室、電子微電子、石油化工、太陽能、分析儀器、核電廠、生物制藥、質(zhì)監(jiān)局、學(xué)?？蒲小⒃游展庾V法、廢氣分析、食品包裝、海洋工業(yè)、醫(yī)療/工業(yè)激光工業(yè)等高科技領(lǐng)域。
氣路系統(tǒng)工程材料
1.管道、球閥、卡套和三通均為316L不銹鋼;減壓器為高純氣體減壓器(不銹鋼閥芯)，高壓軟管(連接鋼瓶和母線)為不銹鋼波紋管。高壓軟管的入口端設(shè)有單向閥，可防止鋼瓶更換時軟管內(nèi)的氣體泄漏，同時防止外界空氣混入氣路。
2.管道系統(tǒng):所有氣體管道均采用巴級316L不銹鋼管，管道上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，使氣體在循環(huán)過程中不會被管道系統(tǒng)污染，保證氣體的純度。同時，應(yīng)有明確的標(biāo)志來指示氣體的流向。
3.管道連接:母線和端子部分通過卡套連接，便于減壓器和閥門的維護(hù)和管理。
4.終端:每臺儀表前應(yīng)配備截止閥和二次減壓器(每種氣體一個)。截止閥用于控制每個氣路的開啟和關(guān)閉;當(dāng)儀器需要調(diào)整和維護(hù)時，可以停止任何指定儀器的供氣。減壓器用于顯示和調(diào)節(jié)終端的壓力。
氣路系統(tǒng)管道的要求
1.不銹鋼管外明內(nèi)凈是首選，其次是銅管和塑料管。避免室外部件使用塑料管。
2.室內(nèi)部件應(yīng)盡可能使用不銹鋼管。聚四氟乙烯管或聚乙烯管可用于特殊需要。
3.為了消除不必要的隱患，減少管道可能的泄漏點(diǎn)，建議使用超長不銹鋼軟管，容易彎曲和改變方向。有時，為了便于施工和設(shè)計(jì)，可以在管道中設(shè)置一些雙通和三通接頭。
高純氣路布置
1.高純氣體管道系統(tǒng)布置不同于普通氣體管道。通常要求管道不應(yīng)太長，并且不應(yīng)有不容易清洗的死角，如“盲管”。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中，少量氣體在管道末端連續(xù)排出，從而管道中的氣體將正常流動，并且沒有“死區(qū)”。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求，如有必要，還需要布置末端凈化裝置。一般來說，控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀器等。進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統(tǒng)一管理和控制。
2.高純氣路管道及附件材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例如，半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境，而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細(xì)加工，對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù)，對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格，10-6 (ppm級)不能滿足要求。需要達(dá)到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級)，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。
3.管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。
氣路系統(tǒng)管道安裝驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
外觀檢查
1.管道布線應(yīng)水平、平直和垂直;管子固定牢固。
2.管道外表面無明顯損壞。
3.每個閥件沒有明顯損壞。
系統(tǒng)耐壓試驗(yàn)
如果管道在充滿壓力后變形(如起泡、扭曲、膨脹和其他現(xiàn)象)，這意味著系統(tǒng)不能在這種壓力下工作。如果系統(tǒng)在此壓力下長時間工作，系統(tǒng)將在變形位置爆裂，造成人身和財(cái)產(chǎn)損失。
