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高純氣體管路閥門及管件相關(guān)介紹
2019-03-16
高純氣體管路閥門及管件相關(guān)介紹
高純氣體輸送管路系統(tǒng)的質(zhì)量好壞，將會直接影響到高純氣體的純度、潔凈度、干燥度。因此，對于高純氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計、選材、加工制造、潔凈處理及安裝使用過程中的各環(huán)節(jié)嚴(yán)格控制都有十分重要的意義。
高純氣體輸送管路閥門的選用
高純氣體對系統(tǒng)所用閥門的嚴(yán)密性有十分嚴(yán)格的要求，目前國內(nèi)潔凈廠房的高純氣體管道的閥門基本都采用SS304或SS316L不銹鋼材質(zhì)，閥門型式有隔膜閥、波紋管閥和球閥。波紋管閥的嚴(yán)密性比球閥好，在氣體流過閥門時沒有與外環(huán)境接觸的填料，所以沒有滲漏現(xiàn)象：隔膜閥除了嚴(yán)密性與波紋管閥相當(dāng)以外，還具有閥體死體積小，易吹除且污染少，所以適用于對氣體純度和生產(chǎn)工藝要求極嚴(yán)格或者危險性大的氣體。
1、高純氣體一般采用手工氬弧焊接和自動氬弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和對焊，承插焊的好處在于施焊時管道的對中，方便焊接，但缺點是由于管道與承插口之間有間隙，會存在“死空間’不易將雜質(zhì)吹除，影響高純氣體質(zhì)量。因此對于要求極為嚴(yán)格的高純氣體來說，應(yīng)采用對接焊連接并要求內(nèi)表面無焊縫，即在施工時不得使用不銹鋼焊絲，利用母材的本身融化填滿焊縫。
2、為確保輸送至用氣設(shè)備的氣體質(zhì)量，高純氣體管道與用氣設(shè)備之間應(yīng)用不銹鋼金屬軟管連接，不宜采用非金屬軟管。
3、高純氣體管道與閥門等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok)，VCR采用優(yōu)良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10-9級的高純氣輸送系統(tǒng)，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。
高純氣體管道連接種類及各自特點
螺紋連接
螺紋連接對大宗氣體，且純度要求不高的氣體管道，當(dāng)采用鍍鋅鋼管時 ，采用螺紋連接。 螺紋連接的密封材 料采用聚四氟乙烯密封帶 ，不得采用傳統(tǒng)的油麻。密封帶纏繞要得當(dāng)。不能纏繞的太厚、過長，纏繞太厚或纏繞過多超出管螺紋端頭坡 口的話，在螺紋旋緊時，密封帶會被絲咬切下，落人管道內(nèi)形成較大的污染物，因此端口螺紋從坡口始，留出2- 3 個凸牙不纏繞密封帶是必要的。
對接焊 、承插焊或套管式接
1、對于要求純度很高的管道，采用內(nèi)壁無瘢痕的對接焊 。高純氬氣保護(hù)焊。
2、對于純度要求相對低一些的管道可以采用承插焊或套管焊，承插焊由于氣體殘留空間比較大 。吹凈比較困難 ，現(xiàn)在比較多的采用套管焊接。 套管焊接應(yīng)使套管和主管具有同等材料和內(nèi)表面等級， 結(jié)合部的間隙不能過大，重疊部分也不宜過長，較為合適的重疊長度在 5mm內(nèi)。 套管內(nèi)管加工時，應(yīng)使主管過盈 ，這樣主管被套管緊緊包裹后施焊，焊渣不會落人管內(nèi)。而且氣體死空間也小， 容易吹凈 。
高純氣體管道組成件存放要求
按品種、材質(zhì)、規(guī)格、批次劃區(qū)存放;不銹鋼與碳素鋼、低合金鋼管道組成件不得接觸;室外存放的管道組成件應(yīng)設(shè)置支、墊層;施工現(xiàn)場存放的材料應(yīng)擺放整齊，標(biāo)識清楚，專料專用。管道組成件發(fā)放時，應(yīng)核對材質(zhì)、規(guī)格、型號、數(shù)量、標(biāo)識。材料切割前應(yīng)做好標(biāo)識移植。
高純氣體供應(yīng)的3種形式
1. 現(xiàn)場制氣，管道輸送供氣;
2.外購液態(tài)氣體，氣化后管道輸送供氣;
3.外購氣體鋼瓶，用氣體鋼瓶(組)供氣。某個工程，采用何種方式 ，主要根據(jù)工廠的生產(chǎn)規(guī)模及氣體耗量、用氣質(zhì)量，以及工廠所在城市或區(qū)域的氣體市場供應(yīng)等因素經(jīng)過技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。
