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高純氣體管道系統(tǒng)管路連接及閥門選擇規(guī)范
高純氣體管道系統(tǒng)管路連接及閥門選擇規(guī)范
高純氣體管道系統(tǒng)使用的越來越多，高純氣體管道連接很講究，該怎么連接，氣體管道之間閥門如何選擇閥門，高純氣體管路系統(tǒng)該怎么布置，這里都將詳細介紹。
高純氣體管道連接方式及閥門選擇
純度在 99.9999%以內(nèi)的氣體管道 ，采用304不銹鋼球閥，可以采用法蘭連接 ，法蘭墊片為軟金屬墊片、聚四氟乙烯墊片、總雜質(zhì)含量≤10ppm的氣體管道， 采用用隔膜閥和波紋管閥。 可燃爆炸性的氣體必須采用波紋管閥。 閥門采用卡套連接，軟金屬整片。
高純氣體管路連接
為確保輸送至用氣設(shè)備的氣體質(zhì)量，高純氣體管道與用氣設(shè)備之間應(yīng)用不銹鋼金屬軟管連接，不宜采用非金屬軟管。
法蘭連接
氣體管道與設(shè)備、管道與閥門的連接，在一些要求不高的氣體管道可以采用法蘭連接，墊片使用軟金屬墊片或聚四氟乙烯墊片。 由于石棉會產(chǎn)生粉塵而橡膠的透氣性大和吸水性強而且容易老化， 所以不采用石棉墊片或橡膠整片。
表面密封連接件連接
法蘭連接時氣體和密封材料接觸面大 ，表面磨損也較大， 所以對于高純氣體管道不采用法蘭連接。大多采用表面密封連接件，絕大多數(shù)采用 V CR 密封件形式。
VCR 連接方式
氣體不接觸 密封材料， 流通表面幾乎沒有磨損 ，它是縱向壓力進行壓緊，選用質(zhì)量優(yōu) 良的金屬墊 ，便可以做到很好的密封不泄露、污染少 ，因此得到廣泛采用。 選用時做到連接件材料與主管材料一致 ，內(nèi)表面光潔等級一致。
高純氣體管道系統(tǒng)布置
高純氣體管道系統(tǒng)布置不同于普通氣體管道，一般要求管線不應(yīng)大長，不應(yīng)出現(xiàn)不易吹掃干凈的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端設(shè)置必要的吹除 口和取樣 口。在一些非連續(xù)運行的用戶， 在管道末端連續(xù)不斷的小氣量放空， 以使管道內(nèi)氣體常流動，不會出現(xiàn)“ 死空間”。
根據(jù)過程氣體質(zhì)量要求， 必要時還要布置末端凈化裝置。一 般在進入潔凈廠房的高純氣體管道的控 制閥門 、過濾 器 、減壓 裝置 、壓力表 、流量計 、 在線分析儀器等 ， 集中設(shè)在氣體人口室內(nèi)，便于統(tǒng)一管理和控制。
