硅烷的控制系統(tǒng)設計應該注意哪些因素

　　硅烷在高科技種應用越來越廣泛，硅烷有什么作用，硅烷控制系統(tǒng)設計有哪些要求?這里將進行介紹。

　　硅烷之所以在高科技中被廣泛應用并且越來越重要, 首先是與它的特性有關，同時也與現(xiàn)代高技術的特殊需求有關。通過熱分解或與其它氣體的化學反應，

　　硅烷的作用

　　1、可由硅烷制得單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。

　　2、利用硅烷可以實現(xiàn)zui高的純度、zui精細(可達原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學反應。從而將各種含硅材料按各種需要制成復雜精細的結構, 這正是現(xiàn)代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。

　　硅烷控制系統(tǒng)設計規(guī)范

　　1、硅烷由于其極其危險性，整套系統(tǒng)應該設置獨立的惰性氣體鋼瓶進行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃;

　　2、應該配備惰性吹掃裝置、氣體泄露偵測器、火焰探測器等;

　　3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風系統(tǒng);

　　4、排氣管應采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s

　　5、排氣的硅烷濃度較高時，應采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。