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特種氣體尾氣處理方式

2019-02-26

  特種氣體尾氣處理方式

  特種氣體對(duì)身體健康以及環(huán)境都會(huì)產(chǎn)生很大的危害,如何處理特氣尾氣,用什么設(shè)備處理,這里將會(huì)進(jìn)行深入介紹。

  特種氣體尾氣現(xiàn)狀

  尾氣作為特氣系統(tǒng)的衍生物不可避免的存在。過(guò)去,在很多高校,由于實(shí)驗(yàn)室用氣量不大,建設(shè)單位的業(yè)主沒(méi)有充分意識(shí)到尾氣的排放問(wèn)題,隨著更多半導(dǎo)體工廠雨后春筍的涌現(xiàn),生產(chǎn)用特氣尾氣的排放越來(lái)越多的引起了重視。那么怎么排放,如何排放成為擺在很多用戶面前的問(wèn)題。同時(shí),尾氣處理裝置如何選配,必須具備什么功能,蓋斯帕克研究院通過(guò)實(shí)際項(xiàng)目經(jīng)驗(yàn),給大家一一闡述。

  關(guān)鍵詞:

  尾氣處理;處理方法;多方式組合。

  特氣系統(tǒng)尾氣排放處理裝置的處理方式:

  尾氣處理裝置的類(lèi)型,應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進(jìn)行選擇,不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置尾氣處理裝置;

  尾氣處理裝置應(yīng)靠近GR、GC等特種氣體設(shè)備布置;

  特種氣體尾氣處理方法宜采用干式處理吸附、濕式洗滌、加熱分解處理、燃燒處理、等離子分解處理、稀釋處理及以上幾種方式的組合。

  Local Scrubber廢氣處理柜

  Local Scrubber(本地式小型廢氣處理柜)是近年來(lái)特氣系統(tǒng)使用非常廣泛的尾氣處理設(shè)備,該設(shè)備有電加熱燃燒、水洗滌等多用途組合,尾氣經(jīng)過(guò)設(shè)備處理后,再進(jìn)行排放,也是非常環(huán)保的生產(chǎn)方式。