400-900-9093
產品名稱：
單瓶半自動特氣柜
產品型號：
HSPGC150104
產品特點：
...
400-900-9093
sales@szgp.com.cn
深圳寶安松白路 創(chuàng)維數(shù)字大廈12樓
產品描述：
名稱：單瓶特氣柜(Gas Cabinet)規(guī)格：單工藝氣瓶，半自動
型號：HSPGC150104
特氣柜尺寸：W550寬×D500深×H1800高
■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口
■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口
■ 氣動隔膜閥：CDA驅動，1/4"卡套接口
■ VENT排空管：1/2MVCR接口
■ 工藝氣體出口：2個，1/4"MVCR接口
■ 盤面規(guī)格：1/4"盤面
■ 標準配備：防爆防腐柜體，防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警，遠程切斷，欠壓報警，主材SS316L
■ 柜體換氣量:4"排氣口，1200次/小時
■ 控制柜尺寸：W550寬×D230深×H320高
■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護
■ 操作界面：7"彩色觸摸屏
■ 選配：工藝氣瓶重量監(jiān)控器，工藝氣體超壓報警，盤面加熱及溫控裝置，報警信號手機短信與電話通知
適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。
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