半導(dǎo)體技術(shù)涉及易燃、有毒和腐蝕性氣體，是制造精密半導(dǎo)體電子元件和新能源光電產(chǎn)品必不可少的重要原料。生產(chǎn)中的氣體泄漏會(huì)造成非常嚴(yán)重的產(chǎn)品質(zhì)量事故和人身傷害。為了確保安全，當(dāng)管道施工時(shí)，對(duì)工作環(huán)境的清潔度、管道內(nèi)外管道的清潔度以及焊接安裝質(zhì)量有很高的要求。

　　半導(dǎo)體管道施工要點(diǎn)

　　1.管道加工

　　管口的加工是施工技術(shù)的關(guān)鍵之一。管道切割和預(yù)制均在清潔的環(huán)境中進(jìn)行，同時(shí)確保切割前管道表面無(wú)痕跡和損傷。打開(kāi)管道前，應(yīng)做好管道氮?dú)鉀_洗的準(zhǔn)備工作。拆除兩層塑料外包裝后，應(yīng)輕拆管道兩端的塑料密封套，并立即充氮?dú)?，防止空氣污染。在管道切割過(guò)程中，使用特殊的不銹鋼刀具緩慢切割，純氮?dú)庋亟橘|(zhì)的下游方向沖洗，以防止碎屑進(jìn)入管道。

　　切割后，端面用平口機(jī)處理以去除毛刺。在處理過(guò)程中，高純氮?dú)庥糜诖祾?。切割和端面處理后，可以用沾有異丙醇的干凈布將管道擦拭干凈。干凈的布?yīng)該是一次性的，不能重復(fù)使用。

　　2、自動(dòng)焊接

　　為了加強(qiáng)焊接質(zhì)量管理，追溯產(chǎn)品質(zhì)量，焊工每天正式實(shí)施焊接工作前，必須制作焊接規(guī)范樣品，檢查焊接工藝水平。只有保證焊接質(zhì)量合格后，才能進(jìn)行正式焊接操作。

　　每天焊接結(jié)束前，還應(yīng)制作焊接樣品。所有焊接樣品應(yīng)妥善保存，焊接記錄應(yīng)作為質(zhì)量檢驗(yàn)和歸檔的依據(jù)。半成品和成品的保護(hù)措施應(yīng)及時(shí)有效。焊接完成后，管道兩端應(yīng)及時(shí)密封，并存放在干凈的保護(hù)區(qū)。焊接時(shí)，應(yīng)進(jìn)行內(nèi)外高純氬氣保護(hù)。建議純度不低于99.999%，氬氣流量應(yīng)由WPK自動(dòng)控制。焊接完成后，用鋼絲刷刷掉焊接區(qū)外表面的氧化膜，并用百潔布打磨表面。

　　3、管道及配件和設(shè)備連接安裝

　　對(duì)于輸送易燃、劇毒特殊氣體的雙層管道，與閥門、氣表和設(shè)備的連接應(yīng)安裝世偉洛克金屬墊片端面密封接頭(VCR)，金屬墊片應(yīng)為柔性鎳合金墊片，以確保密封緊密。在系統(tǒng)建成后的運(yùn)行過(guò)程中，對(duì)確保人員安全和產(chǎn)品質(zhì)量起到了很好的基礎(chǔ)性保障作用。