潔凈車間高純氣體管道工程安裝要求

　　潔凈車間的氣體管道是指氫氣、氧氣、氮?dú)?、壓縮空氣、氣體和高純氣體管道以及氣壓小于等于0.8兆帕的真空管道等一般氣體，高純氣體是指氣體純度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的氣體。高純、高純氣體管道的建設(shè)不同于普通工業(yè)管道。輕微的疏忽可能會損害氣體質(zhì)量。

　　一、高純氣體管道外觀檢查

　　1、無裂紋、縮孔、褶皺、雙層皮等缺陷。

　　2、無銹蝕、蝕斑等現(xiàn)象。

　　3、管道平直圓滑，無局部凹陷、擦傷、擠壓等缺陷。

　　4、管道內(nèi)表面的“粗糙度”是否符合設(shè)計要求，螺紋處的密封和保護(hù)是否良好。

　　5、采購的成品“內(nèi)表面超光滑潔凈管”應(yīng)有出廠合格證、相關(guān)等級證書和資質(zhì)證書。顯微鏡檢查應(yīng)隨機(jī)取樣，必須符合設(shè)計要求。

　　6、檢查成品的外包裝是否為“帶內(nèi)表面的超光滑潔凈管”，以及蓋、塞等密封措施。相應(yīng)管道的末端滿足要求。

　　7、法蘭密封面應(yīng)平整光滑，無毛刺和徑向凹槽，凹凸法蘭應(yīng)能自然貼合，凸面高度不得低于凹槽深度。

　　二、高純氣體管道配管準(zhǔn)備工作

　　1、無論壓力有多大，何種介質(zhì)和何種用途的管道，下料不得使用氧氣、乙炔火焰切割。無論是機(jī)械下料還是手動下料，不得在型材上涂抹油脂或潤滑劑。

　　2、各種閥門安裝前應(yīng)清洗干凈，清洗前應(yīng)打磨、試壓合格，然后拆成零件，并在三氯乙烯或四氯化碳溶劑中浸泡1 ~ 1.5小時。安全閥清洗后應(yīng)重新測試。

　　3、使用普通不銹鋼管時，如果表面有油污，安裝后很難清洗。原管道應(yīng)放入清洗槽中清洗。管道內(nèi)壁的酸洗工作必須確保去除的腐蝕零件不會損壞未腐蝕的表面。

　　4、氧氣管道閥門、附件等。應(yīng)嚴(yán)格禁止加油，并按照相關(guān)要求在安裝前嚴(yán)格脫脂。

　　三、高純氣體金屬管路連接方式

　　1、焊接。原則上，高純度和高純度氣體管道是焊接的，但不能直接對接焊接。應(yīng)使用套管接頭。

　　不銹鋼管的焊接:采用氬弧焊，將相同純度的氬氣引入管內(nèi)，防止焊接部位氧化。

　　鋼管焊接:40%銀電極、氮?dú)獗Ｗo(hù)焊、與工藝氣體純度相同的氮?dú)庖牍艿?。然而，?yīng)該注意的是，一旦氮?dú)庵袛嗷虻獨(dú)饧兌冉档?，焊接接頭附近將產(chǎn)生氧化銅，這可能導(dǎo)致表面潤濕。因此，銅管焊接后，用浸有丙酮的紗布來回擦拭管子內(nèi)部，以消除焊接處可能產(chǎn)生的氧化物。

　　2、螺紋連接。螺紋連接的氣密性不如焊接好，不適合連接高純度、高清潔度的氣體管道。螺紋連接中使用的密封填料殘留物有吸入氣體的危險，當(dāng)擰緊內(nèi)外螺紋時，金屬之間的摩擦?xí)a(chǎn)生金屬塵粒，污染氣體。如果確有必要，當(dāng)銅及銅、銅及銅合金配件有螺紋時，應(yīng)在外螺紋上均勻懸掛一定量的焊條，以提高密封效果，盡可能減少金屬粉塵。

　　3、法蘭連接。螺紋或法蘭接頭的密封材料應(yīng)為聚氯乙烯。為了確保密封效果，墊圈上應(yīng)涂少量氟橡膠(白色，室溫固化)。