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實驗室高純供氣系統(tǒng)作用及管路設(shè)計安裝
2019-07-15
實驗室高純供氣系統(tǒng)作用及管路設(shè)計安裝
實驗室供氣系統(tǒng)
實驗室供氣系統(tǒng)雖然投資份額相對較小，但對實驗環(huán)境的安全性有重要影響。
1、氣瓶必須采取專業(yè)通風、防爆措施;
2.氣路系統(tǒng)應(yīng)配備泄漏報警、緊急切斷和強排風等。
3.為了保證氣體的純度和氣壓的穩(wěn)定性，必須進行多級減壓供氣，并提供氣路吹掃和排空等設(shè)施。氣體泄漏檢測方法
實驗室供氣系統(tǒng)作用
滿足不同實驗的要求和安全性。采用匯流排供氣設(shè)備對雙瓶進行手動、半自動和全自動切換功能，配有低壓報警裝置實時監(jiān)控氣體壓力、濃度檢測報警和排氣，確?？蛻粽Ｓ脷夂蜕敭a(chǎn)安全。
高純氣體管道設(shè)計要點
1.對于具有不同特性的氣體，應(yīng)規(guī)劃單獨的供應(yīng)區(qū)域，通常分為三個區(qū)域:腐蝕性/毒性氣體區(qū)域、易燃性氣體區(qū)域和惰性氣體區(qū)域。應(yīng)集中和加強對氣體具有相同特點的管理。易燃性氣體區(qū)域應(yīng)特別規(guī)劃防爆墻和泄漏口。如果空間不足，可以考慮惰性氣體區(qū)域和有毒/腐蝕性氣體區(qū)域。
2.管道設(shè)計需要考慮輸送距離。距離越長，成本越高，風險也越高。一般來說，更合理的設(shè)計流量為20毫升/秒，可燃性氣體小于10毫升/秒，毒性/腐蝕性氣體小于8毫升/秒。在劑量設(shè)計方面，需要考慮使用點的壓力和管徑。前者與氣體特性有關(guān)，而后者使用時的管徑一般為1/4 "~ 3/8 "。
3.根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純度氣體管網(wǎng)不應(yīng)過大或過長;建議采用未封閉的環(huán)形管道，并在系統(tǒng)末端連續(xù)排放少量氣體以便高純度氣體始終在管網(wǎng)中循環(huán)，不會出現(xiàn)“死區(qū)”造成的高純度氣體污染。
4.管道中不流動的“死區(qū)”氣體應(yīng)減少。不應(yīng)提供盲管。應(yīng)在專用氣體儲氣瓶和氣體設(shè)備之間設(shè)置吹掃控制裝置、多閥控制裝置、各閥的開關(guān)順序和系統(tǒng)吹掃，以確保供氣系統(tǒng)的安全可靠運行，并防止形成“死區(qū)”以保留污染物并降低氣體的純度。
5.對于對高純度氣體純度有不同要求的用氣設(shè)備，應(yīng)采用分級高純度氣體輸送系統(tǒng)。也可以使用相同等級的輸送系統(tǒng)，但是在具有高純度要求的氣體設(shè)備附近設(shè)置了終端氣體凈化裝置。
6.為了檢測高純度的純度和雜質(zhì)含量氣體，輸送系統(tǒng)應(yīng)配備必要的連續(xù)檢測儀器，如測量水含量或氧雜質(zhì)含量的分析儀，還應(yīng)配備定期取樣的檢測取樣口，以便按規(guī)定時間取樣，并分析高純度的各種雜質(zhì)含量氣體。
7.在亞微米集成電路生產(chǎn)中，需要提供10-9級高純度氣體。為了確保終端氣體處理設(shè)備中氣體的純度，并將氣體中的雜質(zhì)含量(包括灰塵顆粒)控制在規(guī)定值內(nèi)，通常在設(shè)備前面安裝終端凈化裝置或終端高精度氣體過濾器。
實驗室高純氣路的安裝要求
1.所有氣體管道由高質(zhì)量、完全退火的無縫不銹鋼管(BA級)組成。銅管僅用于氣體管道末端，對氣體的純度要求不太嚴格。(例如通風櫥)。
2、氣體安裝管道不得敷設(shè)電纜和導(dǎo)線。
3.易燃氣體，如乙炔需要與其他氣體分開引入。如果氫氣管道與其他可燃氣體管道平行敷設(shè)，其間距不得小于0.5M交叉敷設(shè)時間間隔不小于0.25米，分層敷設(shè)時氫氣管道應(yīng)位于上方。
4.壓縮空氣有凈化裝置，用于過濾管道上的雜質(zhì)和水分。凈化裝置需要并聯(lián)連接，并通過單獨的閥門分開，以便于過濾裝置的維護。
5.高純度氣體管道的連接采用無縫焊接。接頭配件只能在連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時使用。
6、每個實驗室應(yīng)有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。
7.通向工作臺的氣體管道應(yīng)安裝單獨的控制閥。各種氣體控制閥應(yīng)均勻排放在工作臺上。建議在氦氣管道前安裝氣體凈化裝置。
8.每1.5m左右，氣體管道需要支撐。此外，根據(jù)氣體管道的彎曲半徑，設(shè)置適當?shù)闹Ъ芪恢?。必須支持所有彎曲。氣體管道安裝管道的所有支架均應(yīng)鍍鋅防腐處理。
